报告题目：从MEMS到纳米制造、效应与微纳传感器研究

报 告 人：李铁 研究员

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

主 持 人：卢革宇 教授

报告时间：2014年6月10日14:00

报告地点：唐敖庆楼D311会议室

主办单位：电子科学与工程学院

集成光电子学国家重点联合实验室

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